OX400氧化锆氧分析仪OX400-广州技创电子设备有限公司

OX400氧化锆氧分析仪

OX400-5-N-T-E-H、OX400-5-A-T-E-H、OX400-5-N-R-E-H、OX400-3-A-T-E-H

一、特性：

1、技术特性：
      重复性：±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%）
      线性：±2%F.S.；±3%F.S.（0~100ppm或更低）
      响应时间：90%响应，10秒内（0~1%或更高），30秒内（小于0~1%）
      漂移：±2%F.S./周

2、使用寿命长，响应速度快
由于使用了横河电机的新型薄膜沉积技术，传感器的寿命周期提高了三倍

3、圆柱形传感器设计便于置换被测气体，确保高速响应

4、高性能和高可靠性
即使在低氧浓度下，仍具有*的精度和线性

5、在不同应用中，可选择泵式或抽提采样方式

6、内置功能和多种自诊断功能
自带多选择器，自动量程，特定量程以及泵开/关功能

提供多种自诊断功能，以检测故障，如加热器温度错误，温度传感器断偶和传感器电阻值错误

7、出众的维护性
可现场更换传感器

小型轻量，易于安装

二、产品功能简介：

横河电机推出的氧分析仪OX400，是公司在该技术的长期经验积累和优秀业绩基础上研发出来的。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400的氧化锆传感器中采用了新型薄膜沉积技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这样不仅预防剥离，还可以减小传感器尺寸，确保高速响应和长寿命。
低浓度氧化锆氧分析仪OX400可用于控制和监视各种半导体应用，并控制环境，空气泄漏入惰性气体及其他过程。

用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制
用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量
测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸

三、技术规格：

测量对象

惰性气体中的氧气浓度
（易燃性气体、二氧化硅、腐蚀性气体或液体（包括水蒸气）除外）

测量系统

氧化锆系统

采样方法

泵式，抽提式等

样气条件

流速: 200 ± 25ml/min（仅用于传感器）
温度: 0~50℃（无结露）
湿度: 无结露
压力: 0~300PaG
zui大容许压力: 30kPaG

测量量程

0-10ppm O2至0-100vol% O2

输出量程

自动:	0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100%（默认）其他: 可设为0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-100%，1~9的整数
固定:	设为0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-100%
部分:	可设置下限值或上限值

模拟输出

2路输出，
一次: 4～20mA DC（zui大负载电阻: 550Ω）
二次: 可选为0~1，0~5，0~10V DC（负载电阻: 10kΩ或更大）

接点输出

报警输出2点:	错误接点，O2浓度报警接点
量程范围输出1点:	接点输出
多选择器（选配件）:	流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出

接点输入

1点: 采样气体吸入泵的远程ON/OFF

自诊断

错误（故障）:	传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止
报警（警告）:	加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限

串口通信

RS-232，38400 bps

标定方法

（1）3点: 10ppm，1000ppm，空气，（2）2点: 可设定为零点气和量程气标定，（3）1点，（4）空气标定

暖机时间

20分以内

电源

100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz

功耗

100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大

尺寸

213 （W） x 132 （H） x 约375 （D） mm

质量

约5kg

管线连接

气体入口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹
气体出口: Rc1/4或1/4NPT内螺纹

环境条件

安装条件:	室内，盘装或壁装，非易燃区域
环境温度:	0～40℃，无结露
环境湿度:	5～85%RH
储存温度:	-5～50℃

符合的安全标准
和EMC标准

安全标准:	61010-1:2001
EMC:	EN 61326-1 Class A，Table 2（用于工业现场） EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3

四、特性：

重复性	±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%）
线性	±2%F.S. ±3%F.S.（0~100ppm或更低）
响应时间	90%响应 10秒内（0~1%或更高） 30秒内（小于0~1%）
漂移	±2%F.S./周